CMP 建模的機器學習方法

  上傳用戶:nakey 上傳日期:2021-01-20 文件類型:PDF
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大多數 IC 制造商使用 CMP 建模來檢測潛在弱點,作為其 DFM 流程的一部分。然而,為 FCVD 和 eHARP CMP 工藝構建基于物理特性的模型或簡化模型實際上很困難,因為這些工藝包含若干沉積和退火步驟以填充溝槽。實驗表明,利用機器學習和神經網絡對這些及其他 CMP 工藝進行氧化物沉積輪廓建模是該技術的一個很有前景且令人激動的應用?!?

關鍵詞: 機器學習   神經網絡   CMP  

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